在ICP－MS中，產(chǎn)生的1000，000個(gè)離子中，只有1個(gè)能夠最終到達(dá)檢測器，這是由于每級的效率決定的，在這樣低效率的傳輸下，去除各種干擾就變得更加重要了，離子鏡的主要目的是去除電子和中性微粒的影響，并對正電子實(shí)現(xiàn)聚焦。離子鏡的結(jié)構(gòu)如下圖所示。

當(dāng)離子從截取錐噴出時(shí)，在進(jìn)入離子鏡之前，能量較小的離子會更多的被真空抽走。

等離子體首先進(jìn)入的是截取透鏡（extraction lens），截取透鏡具有很強(qiáng)的負(fù)電勢，所以電子無法通過，被真空抽走。在后面是幾級離子聚焦透鏡，離子聚焦透鏡的原理是：安裝兩個(gè)電極板或圓筒，在兩個(gè)電極之間形成了透鏡狀的等場強(qiáng)線，當(dāng)邊緣離子入射到電場時(shí)，受電場影響，向中心移動(dòng)，隨后出射運(yùn)動(dòng)方向又恢復(fù)到了向前，實(shí)現(xiàn)了位置上的聚焦。ICP－MS在產(chǎn)生離子的同時(shí)，也產(chǎn)生大量光子，由于光子也可以被檢測器檢測和計(jì)數(shù)，所以在離子透鏡的末端，是一個(gè)偏轉(zhuǎn)透鏡，用于去除光子干擾。(一般來講，采樣錐離子流為0.1A，截取錐電流為1mA)

在ICP－MS6880中，透鏡組如下圖：

接口錐后配備2個(gè)提取透鏡。

2個(gè)提取透鏡電壓可分別調(diào)節(jié)電壓，可以實(shí)現(xiàn)軟提取、硬提取、浸透式提取等，多種提取模式，提升各種復(fù)雜基體的分析能力.

樣品通過離子源離子化，形成離子流，通過接口進(jìn)入真空系統(tǒng)，在離子鏡中，負(fù)離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過，并且達(dá)到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過改變分析器參數(shù)的設(shè)置，僅使我們感興趣的核質(zhì)比的元素離子順利通過并且進(jìn)入檢測器，在檢測器中對進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到了最終的元素的含量。